1. 良好的抽氣性能和極限真空
2. 智能干泵,第四代“Quimby”變頸變距螺桿技術
3. 適合苛刻工藝,可抽取可凝蒸汽/腐蝕性氣體/含粉塵氣體
4. LD/MD/MD+多路氣體吹掃系統(tǒng)(MD+版本可實現在線溶劑沖洗)
5. 三級軸封技術+軸封吹掃,成熟可靠
6. 陶瓷軸承+氟油潤滑
7. 機載智能控制系統(tǒng),主動式全變頻控制,可實現多種遠程通訊監(jiān)控
8. 全閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)
1. 干式解決方案,創(chuàng)造潔凈真空環(huán)境
2. 免日常維護,超長的大修維護間隔
3. 節(jié)能環(huán)保,低噪音
4. 智能控制,易于真空系統(tǒng)的控制與集成
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